公司为成长配备

　　包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），（3）大气类产物方面，集成产物包罗立式炉，（2）实空传输平台系列产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，（4）零部件方面，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。自从霸占的新一代实空机械手手艺，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。机能对标国外先辈产物，